esa型基于ebara强大的罗茨泵技术构建。esa200w型和更大型号适合lcd，光伏制造设备等行业中大容积腔室的快速抽空要求。esa25-d型和esa70w型干式真空泵是mo-cvd应用中安装量大的基础泵。esa型干式真空泵还具有用于高气体负荷的智能旋转顺序和*的互锁功能。
ebara真空泵维修 esa 产品详情
esa型基于ebara强大的罗茨泵技术构建。esa200w型和更大型号适合lcd，光伏制造设备等行业中大容积腔室的快速抽空要求。esa25-d型和esa70w型干式真空泵是mo-cvd应用中安装量大的基础泵。esa型干式真空泵还具有用于高气体负荷的智能旋转顺序和*的互锁功能。
特征
・理想的设计，可在大容积腔室中快速抽气
・智能转子转速控制功能，可灵活处理气体。
・大直径的转子可实现紧凑的泵单元尺寸
・可选排气配置可用于有机溶剂应用
・*的警告和警报数据存储功能
・用于警告设置的手动功能（可通过lcd控制器编程）
・提供semi-s2 / ce标记/ nrtl